高钟毓 韩丰田 孙新民 李树文 王占林 王大力 贺晓霞 吴秋平

辨识 研磨机理 反馈线性化 静电力 误差趋小化 电容电桥 间隙电容 陀螺 支承刚度 创成性加工 近似非线性滤波 静电平衡 球面成型 研磨机 漂移测试 静电悬浮 误差均匀化效应 球体研磨 随机模型 微位移

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