鲁永芳 刘玉龙 张孝吉 朱光华 吴瑜光 田人和 张荟星 董平 刘运宏 王荣 张旭 易仲珍 张通和 孙旭芳

等离子体沉积 气溶胶 RBS 类金刚石膜 3α）核反应 第二阳极作用 能谱 气溶胶面密度 双机械扫描 外束质子激发X荧光 传输特性 阴极接地 真空弧 能量损失靶模型 α粒子 真空弧沉积 阳极接地 磁过滤 磁过滤阴极真空弧沉积（FVAPD） （11）B（p 聚焦磁场 质子透射能量损失 均匀性 轻核Al 阴极真空弧放电 氢含量 沉积能量 过滤阴极真空弧沉积 阴极真空弧 高能离子注入靶室

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