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刘成森图谱-自然科学领域：

相关人员

杜木 高昕昕 吴雪飞 丁振峰 郭南南 霍伟刚 郑亚茹 杨艳

研究领域

调谐基片自偏压 能量分布 等离子体源离子注入 计算机模拟 射频等离子体 角度分布 正反馈 MonteCarlo模拟 离子注入剂量 光栅 Moire条纹 附加电极半径

所属机构

辽宁师范大学物理与电子技术学院 辽宁大连 大连理工大学物理与光电工程学院 大连水产学院生命科学技术学院 大连理工大学物理系

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