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凌行图谱-自然科学领域：

相关人员

莘海维 沈荷生 简小刚 戴永兵 张志明 孙方宏 奚正蕾 陈明

研究领域

复合结构 金刚石薄膜 自支撑窗口 制备 介电特性

所属机构

上海交通大学微纳米研究院 上海交通大学微电子技术研究所 上海交通大学机械与动力工程学院

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