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周成刚图谱-自然科学领域:
相关人员
张阳
叶锡标
黄文浩
研究领域
微镊
平面光栅
透反式二维零位光栅
位置传感器
对准精度
三维零位
精密计量
光刻对准技术
所属机构
安徽合肥
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
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