金曾孙 高谷松文 黄甫萍 金文成 张纪法 于狭升 汪剑波 坂本幸弘

微波等离子体化学气相沉积方法 晶粒尺寸 射频磁控溅射 热灯丝化学气相沉积方法 电子场发射 金属化 钽 半导体列阵激光器

辽宁大连 吉林长春 辽宁省大连 日本千叶工业大学 大连理工大学物理系 吉林大学原子与分子物理研究所 吉林大学材料科学与工程学院材料科学系 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室