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向鹏飞图谱-自然科学领域：

相关人员

张茂平 熊予莹 蒙高庆 李赟 符斯列 吴先球 陈俊芳 赵文锋 樊双莉 胡社军 孙辉 史磊 赖秀琼

研究领域

薄膜 电子束蒸发镀膜 TCP离子源 朗缪尔双探针 氮化铝 氮化钛 Langmuir探针 ICPECVD 氮化硅 朗缪尔探针 低温沉积 TCP 顶部感应耦合等离子体源

所属机构

广东广州 华南师范大学物理与电信工程学院

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