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吴雯图谱-自然科学领域：

相关人员

张凯 胡光 叶芸 顾豪爽 刘婵

研究领域

刻蚀速率 表面粗糙度 深度刻蚀 择优取向 微机电系统 薄膜体声波谐振器 湿法刻蚀 空腔

所属机构

湖北武汉 湖北大学物理学与电子技术学院

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