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吴子景图谱-自然科学领域：

相关人员

蒋宾 吴晓京

研究领域

材料科学 二氧化硅 薄膜 纳米摩擦学 氮化硅 等离子体增强化学气相淀积 纳米硬度仪 纳米硬度 原子力显微镜 纳米压痕 弹性模量

所属机构

上海集成电路研发中心 复旦大学材料科学系

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