高钟毓 贺晓霞 韩丰田 张嵘 王永梁

有源静电轴承 静电平衡 电容电桥 静电支承 球形转子 数字控制器 幅值调制 滑模控制 静电场干扰力矩 微位移 球谐函数 间隙电容 线性检波 鲁棒性 高压放大器 高压变压器 边界层 静电悬浮 二阶边界扰动原理 球形转子静电平衡装置

清华大学精密仪器与机械学系