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余云鹏图谱-自然科学领域：

相关人员

林璇英 石旺舟 林舜辉 刘育洲 黄翀 林揆训 黄锐 姚若河

研究领域

均匀性 晶化硅 PECVD 自动测量 质谱计 薄膜 低温生长 厚度

所属机构

汕头大学物理系 汕头大学物理学系

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