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光学性质 薄膜 热稳定性 含银二氧化钛薄膜 热处理 电子束蒸发 PVDF薄膜 取向生长 Ni-W合金 抗菌性能 电沉积 磁控溅射 脉冲 非平衡闭合磁场 离化原子团束工艺 TiO2薄膜 表面氧化 真空热蒸发 α相