吴大兴 韩平 张杨 郑海务 苏勋家 冯晶 顾玉宗 陈敬超 张荣 朱顺明 杜晔平 崔虎 宋文燕 张兴刚 冯丽萍 顾书林 闫锋 刘文婷 陈平 李阳平 苏剑峰 郑有 李强 孙澜 朱嘉 高国庆 赵铁成 梅辉 于杰 刘正堂

微结构 高温强度 二氧化硅薄膜 低温生长 镀膜 氮化硅薄膜 纳米硅溶胶 氮化硅 沉积速率 沉积 性能 透过率 化学机械抛光 高温失效 低压CVD 色心 化学气相淀积 SiO2Si3N4薄膜 价态 磁控反应溅射 无机非金属材料 DC-PCVD 磁控溅射 6H-SiC 离子注入 6H-SiC薄膜