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缺陷 压电陶瓷 超微细粉 制备技术 应力 化学沉淀法 应变 超声雾化 力矩板手 功率超声 成像 压电材料 PZT压电复合材料 超声相控阵 PMN-PT单晶 压电 金属粉末 纳米PZT 机械品质因数 3-3型压电复合材料 无铅 静水压灵敏度 予应力 介电