孙培祯 邓新绿 林锡刚 乔学亮 王小兵 黄健 陈小华 李国卿 柳翠 张维佳 邓明 马洪涛 李德意 周灵平 王天民 刘宏华 夏义本 齐民 潘永强 黄桂芳 李刚 彭鸿雁 赵立新 杨梅 蔡珣 王淑云 陈宝玲 金曾孙 徐闰 方勇

863计划 表面改性 金属掺杂 表面性能 场发射 表征方法 掺杂类金刚石膜 结构 离子束 性能 氢等离子体处理 结构模型 喇曼光谱 低能离子束 理论 纳米压力技术 模型 耐蚀性能 等离子体源离子注入 微电子机械系统 红外光谱 摩擦磨损性能 生长机理 等离子体辅助化学气相沉积 原子力显微镜 应用 产业化基地 等离子体源 场发射性能 生产工艺