夏义本 庞胜利 朱夏明 范志东 田书凤 张文广 杜滨阳 王雄 万正芬 邱东江 王林军 张庆瑜 姜雪宁 原子健 孟宪芹 马小叶 彭英才 吴惠桢 张莹莹 孟昕 张弘 居建华 李阳

Gd掺杂CeO2电解质薄膜 射频磁控溅射 HfO2栅介质 氧化铟 X射线衍射 CVD金刚石 表面形貌 反应磁控溅射 薄膜生长 X射线探测器 多晶硅薄膜有源层 等效SiO2介电层厚度 高介电常数 薄膜晶体管