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强度分布 结构特性 微观结构 多孔硅 损伤 射频 碳纤维 应变多量子阱 化学气相沉积 平均强度 定向碳纳米管 剩余应力 纳米粒子模板 微波等离子体 高模量纤维 纳米阵列 烧结 冷等离子体 电极反应 纳米固体薄膜 金刚石膜 半导体 氧等离子体 电化学 冶金级硅 预处理 微波等离子CVD 硅材料