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ZrO2薄膜图谱-材料领域：

研究人员

马欣新 薛旭斌 彭定坤 曹传宝 喻维杰 王英华 孟广耀 李晓萍

相关术语

表面粗糙度 薄膜 高k栅介质 微波等离子体化学气相淀积 相结构 硬度

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