曾德长 杨士勤 刘磊 田修波 孙蓉 刘正义 张春光 史新伟 崔永植 王立平 赖珍荃 胡敏 梁爱民 朱秀榕 徐洮 林义民 刘倩 瞿全炎 刘莹

磁控溅射 离子束强化 电学性能 氩气氮气流量比 粗大柱状晶 溅射气压 离子束强化蒸镀 细小柱状晶 正交试验 溅射电流 纳米硬度 摩擦特性 薄膜质量 离子束辅助沉积 离子束强化高频离子镀 摩擦学性能 高频离子镀 弯曲磁过滤 滑动摩擦 结合强度