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40Cr钢 CVD 结合力 刻蚀气体 傅立叶红外吸收光谱 射频磁控溅射 光学特性 掺杂 磁控溅射 摩擦系数 非晶碳膜 光学波导器 光致抗蚀剂 等离子体刻蚀（PE） 表面形貌 X射线衍射 荧光性能 热稳定性 CO2激光 半导体 高温退火 聚硅炔 红外传能光纤 无机非金属材料 空芯玻璃波导