万里冰 李镇江 田光磊 邵建达 孟阿兰 李长健 范正修

自由振荡激光 高能球磨 粒度 影响规律 正交试验 CuInSe2膜 激光损伤 单脉冲激光

南开大学电子科学系 青岛科技大学机电工程学院 青岛科技大学化学与分子工程学院 中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜中心