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掺杂 电阻 温度 AZO薄膜 衬底 晶界势垒 稀土钇掺杂 氧分压 结构特性 射频磁控溅射 X射线衍射 跃迁 稀土 光学特性 气敏材料 ZnO∶Cu薄膜 量子限域 光致发光 磁控溅射法 电化学掺杂 多孔硅 磁控溅射 ZnO薄膜 透射

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