范炜 傅德君 郭怀喜 何孟兵 杨兵 张志宏 付强 罗海林 雷圆圆 张辉 熊子友 吴大维 石瑛 林玲 王琼 付德君 刘传胜 丁辉 蒋昌忠

X射线衍射谱 GaN 晶体结构 晶体生长 ZrN薄膜 铁磁性 注入绝缘 磁性 离子注入 掺杂 薄膜电阻材料 多层复合涂层 深能级缺陷 氮化碳 外延生长 发光 附着力 薄膜 氮化碳薄膜 超硬材料 注入剂量 抗水蚀性能 硬度 DC反应磁控溅射

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