电脑体验，效果更佳

郑旭强图谱-材料领域：

相关人员

石之杰 周继承

研究领域

SiC薄膜 电介质阻挡层 表面形貌 铜互连 光学特性 磁控溅射 SiCN薄膜 射频磁控溅射

所属机构

湖南长沙 中南大学物理科学与技术学院

标签云