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陈光红图谱-材料领域：

相关人员

于映 吴清鑫 罗仲梓

研究领域

PECVD 残余应力 射频MEMS开关 氮化硅 聚酰亚胺

所属机构

福建厦门 江苏苏州 福建福州 福州大学物理与电信工程学院 苏州市职业大学电子信息工程系 厦门大学萨本栋微机电研究中心

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