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温中泉图谱-材料领域：

相关人员

陈钢进 张锦文 肖慧明

研究领域

电荷稳定性 驻极体 SiO2Si3N4双层膜 微型发电机 微器件加工

所属机构

浙江杭州 重庆大学微系统研究中心 北京大学微电子学研究院 浙江科技学院功能材料研究所

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