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双极 光电特性 PLD 共掺 ZnO：Ga Co-N共掺 外延生长 SiGe 磁性 模拟成形性 热蒸发 缓冲层 自组装 磁控溅射 结状 ZnO薄膜 MSG 相关性 晶体外貌 CMOS 基本成形性 板料成形 H钝化 p-ZnO 射频 透明导电氧化物薄膜 微纳米棒 氧分压 物理热蒸发

浙江大学硅材料国家重点实验室 浙江大学材料系硅材料国家重点实验室 北京航空航天大学七○四教研室