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二氧化锡 氮化铝 退火处理 传统流延成型 气体敏感 SnO2薄膜 热导率 复合陶瓷 氧分压 介电 反应磁控溅射 薄膜 电阻率 非化学计量比 溅射 陶瓷 水基流延成型

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