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李志坚图谱-材料领域：

相关人员

徐阳 刘理天 王敬 许军 张林涛 梁仁荣 张武全 任天令

研究领域

半导体材料 减压化学气相沉积 多层复合结构 铁电薄膜 应变硅 sol-gel法 锗硅虚拟衬底 无机非金属材料

所属机构

清华大学微电子所 清华大学微电子学研究所

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