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张锦文图谱-材料领域：

相关人员

陈钢进 温中泉 肖慧明

研究领域

微型发电机 驻极体 微器件加工 SiO2Si3N4双层膜 电荷稳定性

所属机构

浙江杭州 北京大学微电子学研究院 重庆大学微系统研究中心 浙江科技学院功能材料研究所

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