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张宏森图谱-材料领域：

相关人员

张丽丽 丁明惠 王颖

研究领域

射频反应磁控溅射 Cu互连 扩散阻挡层 Zr-N薄膜

所属机构

哈尔滨工程大学信息与通信工程学院 哈尔滨工程大学材料科学与化学工程学院 黑龙江科技学院工程训练与基础试验中心

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