陈金华 黄英龙 张冬冬 田德恒 王福学 张士英 王邹平 杨昭柱

Ga2O3Cr膜 单晶 钯催化 氨化反应 氨化温度 射频磁控溅射 磁控溅射 电泳沉积

山东济南 山东师范大学半导体所 山东师范大学半导体研究所 济南大学信息科学与工程学院 山东师范大学物理与电子科学学院