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徐阳图谱-材料领域：

相关人员

李志坚 许军 梁仁荣 王敬

研究领域

多层复合结构 减压化学气相沉积 无机非金属材料 半导体材料 应变硅 锗硅虚拟衬底

所属机构

清华大学微电子学研究所

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