杨慎东 叶超 陆新华 方亮 项苏留 辛煜 沈明荣 程珊华 甘肇强 葛水兵 康健 黄峰 朱鹤孙 闫继红 江美福 汪浩

脉冲激光沉积 金刚石薄膜 氟化类金刚石薄膜 介电性质 ECRCVD 氟化非晶碳薄膜 低HF浓度 氧分压强 多层膜 掺杂比 低介电常数材料 aC:F膜 aC∶F薄膜 化学气相沉积 微电子器件 脉冲电化学腐蚀 a-C∶F薄膜 红外吸收光谱 微波ECR-CVD ZnO膜 成核机理 I-V特性 反应磁控溅射 MWECR-CVD 电子极化 键结构 多孔硅 光学带隙 αC∶F薄膜 氧分压

苏州大学物理系 苏州大学薄膜材料实验室 北京理工大学 苏州大学 苏州大学物理科学与技术学院 江苏苏州