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石之杰图谱-材料领域：

相关人员

周继承 郑旭强

研究领域

铜互连 SiCN薄膜 电介质阻挡层 磁控溅射 电子元器件 进展 AlN电子薄膜材料 应用

所属机构

中南大学物理科学与技术学院

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