张志萍 李维银 徐桂芳 付廷波 程晓农 赵双群 严学华

ZrW2O8 组织稳定性 低热膨胀 连续变量 Al2O3薄膜 复合材料 近零膨胀 无机非金属材料 介电常数 烧结助剂 沉积速率 二氧化锆 钨酸锆 热膨胀 磁控溅射 负热膨胀 耐腐蚀 原位反应固相法 离散变量 介电损耗 拓扑优化 设计 薄膜 ZrO2 力学性能 RF磁控溅射 高温合金740

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