刘正义 王德政 匡同春 周克崧

等离子体刻蚀处理 金刚石薄膜 压痕试验法 粘附性能 硬质合金 形貌 横截面形貌 残余应力 界面 钼基体 附着性能 CVD金刚石膜

华南理工大学机电系 华南理工大学 广东工业大学实验研究中心 广东工业大学 广州有色金属研究院