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丁士进图谱-材料领域：

相关人员

夏钟福 张庆全 王鹏飞 张冶文 苟鸿雁 王季陶 刘志杰 张卫

研究领域

热稳定性 旋涂 化学气相淀积 含氟氧化硅 化学自组装生长 低介电常数 AF薄膜 薄膜

所属机构

同济大学 复旦大学 复旦大学电子工程系 复旦大学电子工程系CVD研究室 复旦大学专用集成电路与系统国家重点实验室

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