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余学功图谱-材料领域：

相关人员

杨德仁 王晓泉 阙端麟 马向阳

研究领域

热施主 氮氧复合体 直拉单晶硅 退火 氢

所属机构

浙江杭州 浙江大学硅材料国家重点实验室

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