刘春芳 高杨 易旺民 刁仁伟 陈宏 李新忠 何钺 晁智强 翟慧萍 王先逵 崔红 孙宜标 吴运新 郭庆鼎 简林柯 吴丹 何铖 闫峰 胡育文 杜飞 李华莹

振动试验 直线电机 电液伺服振动台 液压伺服振动台 同步 PID控制 中凸变椭圆活塞 PDFF控制 零相位误差跟踪控制 步进式扫描光刻机 逆变电源 永磁直线同步电动机 控制器 周期性扰动 工件台 多激振器 补偿 反馈补偿 跟踪控制 变速非圆车削 跟踪精度 直线伺服单元 数学模型