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抛光 电火花加工 CVD 表面粗糙度 抛光技术 特性 附着强度 成核 LED 等离子体弧 抛光装置 直流辉光放电 摩擦学特性 工艺参数 有限元法 MPCVD 微波等离子化学气相沉积 类金刚石碳膜 抗腐蚀 模拟 电蚀加工 有效沉积区域 真空退火 离心力 钎焊 石墨化 散热片 特性分析 耐磨性 工艺性能

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