杜康 王家畴 应济 林谢昭 张文栋 冯勇建 王瑞荣 石云波 夏晓媛 王跃林 杨衡 荣伟彬 马立 李铁 孙立宁 焦继伟 李昕欣 林静 陈子辰 黄元庆 刘俊

MEMS光开关 悬臂梁驱动 单芯片集成 陀螺仪 微机械陀螺 微机电系统MEMS) 感生电动势检测 压阻检测 加速度计 扭臂驱动 SDA 加工工艺 体硅工艺 模态分析 致动机理 可变电容 宏模型 双端固支硅纳米梁 特性分析 MEMS 纳米级定位平台 谐振特性 结构设计 梳状驱动