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静电梳微谐振子图谱-机械领域：

研究人员

陈晓阳 沈雪瑾 丁晓红 宋晓珏

相关术语

蟹脚结构 直脚结构 应力 微机械 谐振频率 蟹脚型结构 直脚型结构 位移

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