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气浮导轨 动特性 设计 工艺参数 对数相频、幅频特性 重载荷 供油系统 数学模型 气体润滑 失效树 阻容链 多供气孔 压力分布 磨头 有限元分析 圆环 刚度 平面磨床 有限元 孔隙度 缓冲装置 节流器 流体动力学 薄膜节流器 最小割集 圆孔 表压比 流场 止推轴承 仿真技术