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多模控制 响应速度 颤振抑制 静态特性 精密定位 功耗 开环前馈补偿 跟踪控制 Preisach逆模型 PID控制 迭代补偿 广义最小方差 仿真 前馈补偿 PID 振动切削 环形 重复控制补偿器 磁路 模糊控制 广义预测控制 微制造平台 精密隔振平台 脉宽调制PWM) 温控 相变材料 H2H∞混合控制 混合隔振 仿生学 高速数字开关阀