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机械特性 频率 柔轮 选型 对等主机 甲醛 流量控制 缓冲池 功率 惯量 轴承寿命 测试 机构 聚四氟乙烯软带 超精密平台 网络负载 压电陶瓷电动机 主机负载 驱动方案 电源检测系统 光催化 变形规律 故障 平台性能 变压器外特性 综合平衡 缓冲区 方法 倍压网络 输出电流