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薄膜残余应力图谱-机械领域：

研究人员

郑丹 宋朝辉 虞益挺 苑伟政 乔大勇 张鲲

相关术语

压力膜片 力学灵敏度 薄膜基底结构 微机械传感器 有限元分析 微机电系统 曲率测量技术

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