孙红娟 郭占社 李昕欣 黄中华 朱京涛 李群 伍隽 钱劲 李波 朱守星 周飞 江雷 秦树基 王景道 张鸿海 张伟 王霄 田家万 徐明 吕正德 贾冠华 马国华 何平 顾毓沁 黄伟 乔大勇 蒋志强 曾德长 赵亚溥 张大伟

传感器 残余应力 耐蚀性 激光干涉应变计法 数字滤波 磁各向异性 惰性气体 晶粒尺寸 超润滑 热导率 结合强度 表征 试压泵 测试方法 测试误差 光学监控 厚度测量 基底温度 蒸发速率 工艺 力传感器 摩擦特性 纳米压痕 可编程逻辑器件 磁控溅射 信噪比 分类 氟化类金刚石 附着性 溅射