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位移传感器 相敏检波 集成电路 霍尔传感器 输出特性 高可靠性 传感器 控制装置 角位移传感器 隔层 电感位移传感器 微机控制 接口电路 计量 优化 主动磁悬浮轴承 磁力轴承 位移 分辨率提高 电源频率 非接触测量 非线性误差 扭矩 智能式 高幅交变 转子流量计 零点残余电压 插装阀