陈超 胡科峰 孙立宁 章海军 万德安 张冬仙 周云飞 高振国 荣伟彬 胡建兵 楼朝飞 刘泳 朱红光 谭久彬 曲东升 刘超 詹华群 蔡鹤皋 节德刚 晏祖根

MEMS 双脚步进式进给 超精密 机器人 显微运动测量 基准 压电元件激励 微操作 实时 电磁铁箝位 微型光热驱动机构 内尺度 测量 微型机器人 运动分析 电容传感器 仪器 定位系统 压电陶瓷（PZT） 误差补偿 复合式 仿生型旋转微驱动器 压电陶瓷 三维轮廓 有限元分析